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专利名称: 集成多层光学薄膜的超导TES单光子探测器和制备方法
专利类别: 发明
申请号: CN201911334712.6
申请日期: 2019/12/23
专利号:
第一发明人: 张文
其它发明人: 李佩展; 耿悦; 钟家强; 王争; 史生才
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
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